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半導體溫控設備Chiller

簡要描述:半導體溫控設備Chiller由制冷,加熱單元,循環(huán),控制系統(tǒng)組成,全密封結構對環(huán)境友好,產(chǎn)品系統(tǒng)多,控溫范圍廣,智能化控制軟件,加熱制冷速度快。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2024-11-09
  • 訪  問  量:3160
詳情介紹

半導體溫控設備Chiller主要用于半導體制程中對多路反應腔室的精準控溫,裝置由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機和控制系統(tǒng)構成,采用先進的控制算法,提高了chiller的穩(wěn)定性、控溫精度和反應速度。在帶負載的情況下控溫精度可達±0.5℃,可在-20℃~85℃之間任意控溫,有良好的溫度穩(wěn)定性。

半導體溫控設備chiller由制冷,加熱單元,循環(huán),控制系統(tǒng)組成,全密封結構對環(huán)境友好,產(chǎn)品系統(tǒng)多,控溫范圍廣,智能化控制軟件,加熱制冷速度快。

產(chǎn)品分為:
1.單通道系列
2.雙通道系列
3.三通道系統(tǒng)

產(chǎn)品細節(jié):


 

 

 


半導體溫控設備chiller參數(shù)說明:

  名稱 參數(shù) 名稱 參數(shù) 名稱 參數(shù)
1 單通道系列 -20℃~+80℃ 雙通道系列 -45℃~+40℃ 三通道系列 -20℃~+50℃
2 溫度范圍 ±0.1℃ 溫度范圍 ±0.2℃ 溫度范圍 ±0.1℃
3 精度 2kw@-10℃ 精度 11kw@-20℃/5kw@-40℃ 精度 15kw@-10℃
4 冷卻能力 3kw 冷卻能力 2kw 冷卻能力 2kw
5 加熱能力 20LPM@0.6MPa 加熱能力 17LPM@0.6MPa 加熱能力 30LPM@0.85MPa
6 流量 Rc3/4" 流量 Rc3/4" 流量 Rc3/4"
7 端口大小 15~20°C 端口大小 15~20°C 端口大小 15~20°C
8 溫度范圍 15LPM 溫度范圍 30LPM 溫度范圍 30LPM
9 所需流量 Rc1/2" 所需流量 Rc1/2" 所需流量 Rc3/4"*2
10 端口大小 0.3~0.7MPa 端口大小 0.3~0.7MPa 端口大小 0.3~0.7MPa
11 進口壓力  / 進口壓力  / 進口壓力  /


我們的優(yōu)勢:

 

 

 

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